加入书架
就在星光半导体的厂房在黄浦江畔拔地而起，国产化攻关如火如荼进行的同时，林薇主导的“星火计划”也在全球隐秘的科技角落悄然点亮。
美国，硅谷。曾经风光无限的“光子前沿（Photon Frontier）”实验室，如今门可罗雀。创始人兼首席科学家，华裔物理学家李明哲博士，正对着空空如也的银行账户和堆积如山的账单发愁。他倾注了十几年心血的电子束首写（E-Beam）多束并行技术，虽然理论上能突破光学衍射极限，实现更高的精度，但速度和成本问题始终无法解决，在资本寒冬里彻底失去了投资者的青睐。就在他准备关闭实验室，接受某巨头收购（实际是技术埋葬）的残酷现实时，一封神秘的邮件出现在他的加密邮箱。
邮件没有署名，只有一份详尽得令人震惊的技术评估报告，精准地指出了他技术的核心优势、当前瓶颈以及未来可能的突破方向。更关键的是，附件里是一份极具诱惑力的投资意向书——来自一家注册在开曼群岛、名为“远见创投（Visioure）”的基金。投资金额足以支撑实验室未来五年的运转，条件极为优厚：不寻求控股，只要求独家技术合作授权和在特定区域（主要是亚洲）的优先商业化权利。意向书的最后，附上了一个加密通讯协议的接入码。
半信半疑的李明哲接通了加密视频。屏幕对面，是一位声音经过处理、形象模糊的“代理人”。对方展现出了对E-Beam技术的深刻理解和远见卓识，提出的合作框架既尊重他的知识产权，又提供了急需的资源和市场想象空间。最关键的是，对方承诺提供一种独特的、基于分布式计算和新型光栅设计的解决方案思路，来部分解决束斑定位速度和效率的瓶颈！这思路如同黑暗中的一道光，瞬间点燃了李明哲几乎熄灭的热情。
“我们看重的是未来，李博士。光学光刻终有物理极限，多束首写才是通往更小纳米的桥梁之一。我们愿意与您共同承担风险，探索这条少有人走的路。”代理人的话语充满了蛊惑力。
几乎没有太多犹豫，李明哲签下了协议。一笔巨款很快通过复杂的跨国路径注入实验室枯竭的账户。同时，一批经过严格筛选、背景“干净”的技术助理和工程师（其中自然有林薇安排的“守护者”）以合作研发的名义加入实验室。核心的研究数据，在“守护者”程序的加密保护下，开始通过隐秘的卫星链路，涓涓不断地流向林薇控制的位于中立国的数据枢纽。一些关键的实验设备部件，则以“实验室升级”的名义，通过林薇控制的物流网络，分批运往了香港，再经红星集团的贸易渠道进入内地。
几乎同样的剧本，在德国慕尼黑和俄罗斯新西伯利亚上演。慕尼黑工业大学那个研究纳米压印（NIL）多层对准技术的团队，得到了“远见创投”的资助和来自“东方”的神秘技术建议（指向了红星集团材料实验室在新型抗粘附涂层上的突破）。俄罗斯科学院西伯利亚分院研究X射线光刻核心部件（如等离子体光源和特殊光学元件）的团队，则在经费即将断档之际，收到了来自“红星东方商贸（莫斯科）有限公司”的“技术咨询”大单和附带的研究经费支持，相关的实验数据和样品，也随着商贸城日益繁忙的“普通货物”运输，沿着西伯利亚大铁路，源源不断地流向东方。
这些非主流的技术路径，如同散落在科技版图边缘的星火，被林薇敏锐地发现，并通过“星火计划”提供的资金、思路和隐秘通道，小心翼翼地收集、保护、引导，汇聚成一股潜藏在地表之下的技术暗流。它们或许短期内无法撼动ASML的统治地位，但却是打破技术路径依赖、为未来埋下无限可能的火种。
时光飞逝，日历翻到了2001年的秋天。
上海张江，红星星光半导体（StarLight Semid）一期工程正式竣工投产。没有盛大的庆典，只有内部简朴的仪式。巨大的厂房内部，千级甚至局部百级的无尘车间纤尘不染，崭新的设备排列整齐，泛着冷冽的金属光泽。最核心的光刻区，数台由国内多家单位联合攻关、以尼康193nm DUV原型机为蓝本、结合了自身工艺优化和部分子系统国产替代的初代国产光刻机——被内部命名为“破晓-I型”，己经安装调试完毕。它们的外形或许不如进口设备那样流线精致，甚至部分外露的管线显得有些粗犷，但每一颗螺丝，每一根线缆，都凝聚着无数人的心血和希望。
穿着全套防尘服的工程师和技术工人，神情肃穆而专注，在自己的岗位上严阵以待。小林正男和藤原浩作为特邀技术顾问，也站在观察窗前，目光复杂地看着这些带着他们母国技术烙印、却又被赋予了新生和不同气质的机器。
“开始吧。”红星星光半导体的CEO，一位从美国硅谷归来的资深制造专家，深吸一口气，下达了指令。
晶圆盒被送入自动化物料搬运系统。第一片8英寸的硅晶圆被机械臂精准地送入“破晓-I型”光刻机的工件台。机器低沉的嗡鸣声响起，代表着激光启动的指示灯亮起。复杂的曝光流程在精密的控制下开始运行。监控屏幕上，光刻胶上的图形被一层层曝光、显影……
