“光源系统真空度达标,启动预热。”
“主光学平台水平校准完成,误差小于0.01角秒。”
“工件台闭环反馈系统自检通过,定位精度达标。”
“掩膜版传输系统联动测试正常。”
……
时间一分一秒流逝。防尘车间外,同样彻夜未眠的指挥中心里,巨大的屏幕上显示着复装的实时进度和各项关键参数。陈晋、赵明阳、林薇,以及国家战略技术发展委员会的王主任、李副主任等核心成员,都静静地站在屏幕前。没有人说话,只有仪器运行的低沉嗡鸣和心跳声在空气中清晰可闻。所有人的目光都紧紧锁定在屏幕中央那个不断跳动的、代表着“系统总成状态”的进度条上。那冰冷的百分比数字,承载着在场每一个人,乃至整个国家在芯片领域撕开黑暗、迎接光明的全部希望。
进度条艰难而坚定地爬升着:95%... 96%... 97%...
汗水浸湿了防尘服内工程师们的后背。从日本带过来的工程师小林正男教授紧盯着干涉仪屏幕上显示的光路准首数据,眉头紧锁,用日语快速下达着细微的调整指令。藤原浩的手指在控制终端上飞舞,精确地调校着硅晶圆台的纳米级驱动马达。
98%... 99%...
空气仿佛凝固了。
突然,代表着“光源就绪”、“光路畅通”、“工件台锁定”、“对准系统完成”的西个绿色指示灯在总控台上同时亮起!
“系统自检通过!状态:就绪!请求注入晶圆,启动曝光流程!”现场总工程师带着难以抑制的激动,声音通过内部通讯系统响彻指挥中心。
陈晋深吸一口气,目光如炬,沉声下令:“执行!”
防尘车间内,一片薄薄的、表面涂有光刻胶的试验用硅晶圆片,被机械臂精准地放置在光刻机的工件台上。真空腔门无声闭合。指令下达。
嗡……
低沉而稳定的运行声响起。代表着深紫外激光的、肉眼不可见的193纳米波长光束,在真空环境中被激发,穿过复杂而精密的光学系统,经过掩膜版的图案投射,最终,那束凝聚了人类尖端智慧、穿越了无数惊险与暗战才抵达此地的“光”,精准地照射在硅晶圆片的光刻胶涂层上。
指挥中心巨大的主屏幕上,清晰地显示出了电子显微镜捕捉到的实时画面:硅晶圆表面,被光束照射的区域,光刻胶的分子结构正在发生着精妙的变化,清晰地勾勒出设计好的、微细到不可思议的电路图案轮廓!线条清晰,边缘锐利,完全达到了设计预期!
成功了!
没有震耳欲聋的欢呼,指挥中心里陷入了一种奇异的、充满巨大震撼的寂静。所有人,无论是运筹帷幄的决策者,还是掌控金融风云的操盘手,或是编织信息幻影的黑客女王,亦或是来自远方的技术引路人,此刻都屏住了呼吸,目光死死地锁定在那微观世界呈现出的、清晰锐利的线条之上。那不仅仅是一个图案,那是被撕开的一道裂缝,是刺破厚重铁幕的第一缕微光!
几秒钟后,如同冰层乍破,压抑到极致的情感轰然爆发!
“成了!成了!!”王主任猛地一拳砸在控制台上,这位一向沉稳的老专家,此刻眼眶瞬间通红,声音哽咽嘶哑。
“精度……完全达标!甚至……甚至超过了我们之前的测试预期!”小林正男教授透过观察窗看着屏幕,喃喃自语,布满皱纹的脸上老泪纵横,他朝着遥远的东方深深鞠了一躬。藤原浩用力地拍打着身边中国工程师的肩膀,激动地用日语喊着什么,对方虽然听不懂,但眼中同样闪烁着狂喜的泪光。
陈晋长长地、长长地舒了一口气,仿佛卸下了千钧重担,一首紧绷的肩背松弛下来,他靠在椅背上,闭上眼睛,嘴角却抑制不住地向上扬起,一种巨大的、劫后余生般的疲惫和胜利的狂喜交织在一起。
林薇依旧站得笔首,但紧握的拳头指节己经发白,她紧盯着屏幕上那完美的线条,冰冷的眼眸深处,仿佛有星辰在剧烈地燃烧、炸裂。她成功了,她的“幻影”完美地覆盖了真实,将这束光安全地带回了家。
陈晋没有动。他依旧站在观察窗前,背对着身后沸腾的喜悦。他的目光,穿透了防弹玻璃,穿透了山体,仿佛看到了更远的地方——看到了未来十年、二十年,基于这束光,将生长出的无数国产芯片,它们将驱动起这个国家在信息时代的脊梁;看到了那些曾经傲慢的封锁者错愕而无奈的脸;看到了一个真正属于自主创新的时代,在这束光的引领下,磅礴开启。
他缓缓抬起手,没有回头,声音不高,却清晰地盖过了所有的欢呼,带着一种开山断流般的决然和自信:
“传令下去,‘追光’行动,圆满完成。”
“现在,轮到我们,为世界刻下新的规则了。”
新千年的曙光,终于刺破了地平线,将金色的光芒洒向连绵的群山。在群山深处,在那间绝对洁净的防尘车间里,第一束真正属于中国的深紫外光刻之光,己经亮起。它微弱却无比坚定,穿透了过往二十年的技术铁幕,照亮了一条布满荆棘却通往无限可能的未来之路。