重生1981,工业大亨

第九十三章 光刻机到位

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书名:
重生1981,工业大亨
作者:
不是冻土豆
本章字数:
2490
更新时间:
2025-06-14

"把笔记本扫描件发给德国蔡司总部,用红星重工的名义下单。"陈晋的手指重重戳在餐巾纸设计图上,"告诉他们,我们要定制二十片氟化钙晶体镜片,表面粗糙度0.2纳米以下。"

张汝京手中的咖啡勺"当啷"撞在杯壁上。这位在德州仪器见过大风大浪的工程师,此刻声音都在发颤:"陈总,这种精度比现在最先进的PAS5500还要高五倍......"

"所以我们要抢在ASML之前注册专利。"陈晋翻开笔记本第三十七页,浸没式光刻机的三维结构图在吊灯下泛着幽蓝光芒,"林博士明天带团队入驻南京,三个月后我要看到能兼容这种设计的厂房。"

1998年1月7日,上海飘着十年不遇的冻雨。三十辆重型卡车碾过结冰的金陵大道,车头红星标志在探照灯下红得刺眼。林国栋裹着军大衣站在集装箱堆场,眼镜片上全是水雾:"小心!那箱激光发生器必须恒温......"

"博士,三号车间顶棚漏水!"

"让后勤处调五台除湿机,现在!立刻!"他抓起对讲机狂奔,泥水溅在刚从德国空运来的晶圆切割机上。远处塔吊正在吊装国内首台电子束光刻机,红色安全帽们在钢架间穿梭如蚁。

陈晋站在指挥部监控屏前,十八块分屏闪烁着各车间实况。突然右下角屏幕亮起红灯,设备管理部部长满头大汗冲进来:"德国镜片在海关被扣了!说是涉及战略物资......"

"接北京专线。"陈晋按下加密电话,"杨秘书,我记得朱副总理上周视察过红星重工?对,就说这批光学元件关系到国产大飞机项目。"他转身时露出冷笑,窗外的冰棱正在朝阳下融化。

三天后,二十个铅封货箱整齐码放在恒温仓库。蔡司工程师汉斯摸着红星徽章惊叹:"你们居然在车间里造了个无尘室?这洁净度简首像......"

"像婴儿的第一口呼吸。"林国栋隔着防护服抚摸镜片,检测仪显示0.18纳米的数字让他热泪盈眶。监控室里,陈晋看着同步传来的数据,终于撕掉墙上"距光刻机原型机还剩87天"的倒计时。

1998年4月18日凌晨三点,总装车间里,三十名工程师盯着缓缓闭合的机器舱门。张汝京的右手悬在启动键上迟迟不敢按下,后背工装早己湿透。

"我来。"陈晋推开人群,袖口擦过控制台时露出小臂上的疤痕——那是在陈晋去军队打越南前线时留下的。

蓝光骤亮!真空腔体内,紫外激光穿过液态浸没层,在硅晶圆上刻出头发丝万分之一的电路。监控屏跳出0.18微米线宽时,整个车间安静得能听见汗水滴在防静电地板上的声音。

"成了!"林国栋突然扯掉口罩,五十岁的博士哭得像孩子,"我们自己的光刻机!"张汝京踉跄着扶住操作台,眼镜片后泛起血丝:"快测良品率!晶圆对准精度!"

朝阳穿透落地窗时,陈晋站在楼顶望着厂区外飘扬的红旗。身后会议室里,朱副总理特派的技术专员正在记录数据:"......首片测试芯片良品率65%,虽然比国际先进水平低15个百分点,但这是从三微米首接跳到0.18微米的跨越!"

"不够。"陈晋转身打断,"三个月内必须突破85%,明年推出130纳米制程。"他把浸没式光刻专利文件拍在桌上,"这是给ASML准备的惊喜。"

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